对官员进行巡视，以监察其勤政廉政情况，其实早在4000多年前的父系氏族社会就有了。黄帝时，设置了实施监督的官员，其中一项任务就是对管辖的属国行使监察权。夏商周时设有称之为“方伯”的官吏，他“受命于王”，对称臣纳贡的异姓诸侯和分封的同姓诸侯进行监察。到了春秋战国，各诸侯国为加强对地方官吏的掌控，巡视监察的内容不仅包括察举查办腐败犯法行为，还将“不慈孝父母，不长弟于乡里，骄躁淫暴，不用上令者”纳入巡察之列。

秦始皇统一中国后，把廉政监察作为一项制度固定了下来，改以前的“方伯”巡视为中央派人巡视和郡级定人巡视，并称之为监御史和监察史，从中央到地方组成了一个较为严密的独立巡视系统。

汉代的监察巡视主要是沿袭秦朝，但把中央监察系统分为中央主管监察的御史府、主管行政兼理监察的丞相府和地方诸侯王国的监察室三级。西汉中期以后，巡视按级负责，巡视的官员职位变低，但权力越来越大，对贪赃枉法者可以举奏弹劾，也可以直接拘捕。对能力突出、成绩显著的监察吏，皇帝不但提高其生活待遇，而且还不断加官晋级以示奖励。

两晋南北朝时的晋武帝也十分重视廉政监察。公元268年，他特地诏令说：“郡国守相，三载一巡行属县，录囚徒，理冤枉，详察政刑得失，知百姓所患难苦。若长吏在官公廉，虑不及私，正色直节，不饰名誉者，及身行贪秽，谄黩求容，公节不立，而私门日富者，并谨察之……”这些措施，对于整顿吏治，打击贪污违法起到了一定的作用。

到了唐朝，由于中央集权制度的高度发展，廉政监察制度也有了明显的加强，监察机关内部的分工更加明确，对所监察的对象实行了归口管理，成立了中央最高监察机关“御史台”，专司监察之职，直接受皇帝控制，任务是“掌以刑法典章纠正百官之罪恶”，与其他重权机构平行。监察御史主要是“分察百僚，巡按郡县，纠视刑狱”。宋代监察制度较之唐代有所变革，在突出廉政职能上还规定了监察官出巡制，要求诸路监司要定期巡按所辖州县。

明朝的监察巡视制度逐步完善。朝廷派遣充任巡按者，代天子巡狩，权力更崇重。清初统治者接受了历代封建政权的经验教训，深知以廉政为主要目的的监察对于维护封建政权的重要性，监察制度在明制的基础上进一步发展。清顺治时，为“察吏安民、澄清吏治”，建立了巡按制度，设立了巡道机构，以为“天子耳目之官、朝廷之心腹”，并给予相当高的地位和权力。清朝又明确规定了“巡察史”，每年都派都察院官员到各地巡视、监察。这一制度，对康乾盛世起到了很大的保障作用。